Описание:

Высокая эффективность с быстрым профилированием по глубине!

ADEPT-1010 ‒ это идеальный выбор для анализа мелких имплантированных легирующих примесей в полупроводниках и других материалах, а также для анализа тонких и многослойных пленок. Ионный пучок с высокой плотностью и низкой энергией, создаваемый плавающей коллиматором, обеспечивает максимальную чувствительность за короткий промежуток времени.

Автоматизация массовых анализов

ADEPT-1010 ‒ это специализированный высокоточный автоматический инструмент для профилирования по глубине.

ADEPT-1010 можно использовать во всех возможных областях ‒ от производства до исследований и разработки, поскольку он оснащен источником ионов с высокой плотностью и низкой энергией для анализа сверхмелкой ионно-имплантированной пленки, системой откачки сверхглубокого вакуума для увеличения нижнего предела обнаружения атмосферного компонента и простым в использовании графическим интерфейсом программного обеспечения для упрощения многоточечного анализа.

 
Первичным ионом является кислород. Энергия ионов составляет 500 ЭВ, а использование источника ионов высокой плотности с низкой энергией позволяет получить ультра-мелкий профиль глубины имплантации.

Ультра - высокая вакуумная среда, получаемая турбонаддувом с большой скоростью откачки, обеспечивает более низкий предел обнаружения атмосферных компонентов даже при обычном анализе.

Программное обеспечение

Настройка параметров автоматизации обычного анализа с помощью простого и понятного графического интерфейса пользователя занимает короткий промежуток времени.