Описание

Ручной, полуавтоматический, автоматический режимы

Компания SPM производит системы групповой жидкостной обработки в различных конфигурациях в соответствии с требованиями заказчика.

В конструкции системы используются специальные устойчивые к коррозии полимерные материалы (соответствие стандарту FM 4882). Данные высокоэффективные материалы гарантируют отсутствие химического загрязнения или ухудшения характеристик, безопасность и длительный срок службы оборудования.

Ванны для промывки, обработки и сушки спроектированы и реализованы с использованием только высококачественных материалов и новейших строительных технологий.

Системы жидкостной обработки могут быть настроены для обработки одной или нескольких подложек. Компания SPM изготавливает держатели под определенный продукт заказчика для передачи тока для электролитического процесса.

Опции системы групповой жидкостной обработки:

• Автоматизированное управление выпуском;
• Ламинарный поток с HEPA-фильтрами.

Все системы групповой жидкостной обработки производства компании SPM управляются ПЛК и сенсорным экраном для управления всей системой. Программное обеспечение разработано инженерами компании SPM и имеет современную графику и расширенный функционал, например:

• Управление инструкциями;
• Регистрация данных в режиме реального времени и повременная регистрация;
• Прямое управление трубопроводами и контрольно-измерительной аппаратурой: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Протокол SECS-GEM (опция).

Все инструменты соответствуют правилам безопасности CE. В случае необходимости, мы можем изготовить оборудование в соответствии с сертификацией по Директивам ЕС ATEX.

 

Опции системы групповой жидкостной обработки

Ванны системы групповой жидкостной обработки могут оснащаться несколькими опциями, такими как:

• Восстановление истощенного раствора;
• Ванны для обработки и промывки;
• Осушитель.

Ванна для электролитического процесса может оснащаться:

• Функцией нижней подачи и перелива через верх 360°
• Насосом для рециркуляции и фильтрации раствора
• Нагревателем/охладителем для контроля температуры раствора
• Датчиком температуры
• Блоком питания, управляемым программным обеспечением СПМ
• Титановым катодным стержнем с держателем
• Анодной сеткой из платинированного титана
• Автоматической доливкой раствора/ смешиванием с CDS
• Автоматическим сливом с восстановлением раствора
• Мониторингом уровня рН раствора
• Датчиками уровней
• Верхним и нижним завихрениями

 

Запатентованный компанией SPM метод «Поверхностного воздействия»

Уже 3 года компания SPM реализует в своем оборудовании новый метод обработки.

Первоначальная идея, которая обратила наше внимание на данный аспект, заключалась в том, чтобы найти инновационный метод обработки одной полупроводниковой пластины или подложки, вместо практиковавшегося в то время сложного и дорогостоящего механизма, который должен был оснащаться держателем для передачи тока на предмет обработки.

Исходя из этого, инженеры компании SPM разработали новую конструкцию ванны для обработки, основанную на принципе «поверхностного воздействия» химическим раствором.

Вы также можете заказать ванну для обработки по такой последней технологии.