Установки серии MARK являются «де-факто» стандартом в полупроводниковой промышленности. Они обеспечивают однородность нанесения пленки +/-3% и лучше и воспроизводимость от подложки к подложке +/- 3% и лучше. Системы выпускаются в различных модификациях: от полностью автоматизированного компьютерного управления до ручного. Они экономичны в использовании, обеспечивают быструю загрузку/выгрузку, обеспечивают широчайшие возможности для разных процессов и могут работать с практически любыми размерами, формами подложек из разных маетриалов. Эффективность дизайна серии установок MARK, легкость работы с ними и непревзойденная надежность делают их прекрасным выбором как для массового производства, так и для научных разработок и исследований.
Сферические катоды, ВЧ или постоянный ток (до 4шт). |
Электронная пушка. |
Со-осаждение. |
Резистивные источники. |
Смещение, ВЧ или постоянный ток. |
Подтрав распылением. |
Нагрев подложек до 400°С, многоэлементный. |
Травление/предварительная очистка ионным пучком. |
Нагрев подложек, станция. |
Травление/модификация поверхности в плазме. |
Спектрофотометр |
Изоляция источника |
Drop well source |
Автоматическая загрузка подложек |
Легкий доступ к передней и задней дверцам |
Напыление на рулонные материалы |
Изменение расстояния от источника до подложек |
Система загрузки и выгрузки рулонных материалов |
Различное расположение портов и смотровых окон |
Автоматическая загрузка подложек |
С регулируемым углом. |
Планетарный в плоскости. |
Вращающийся диск. |
Механизм для осаждения на рулоны. |
Вращающийся купол. |
Заслонка(и). |
Вертикальный барабан. |
Планетарный в полусфере. |
|
Lift off. |
Сухая или масляная форвакуумная откачка. |
Высоковакуумный затвор вертикального типа 406 мм в диаметре. |
Опции регенерации. |
Клапаны форвакуумной линии вертикального типа 75 мм в диам. |
Знаменитая откачка под прямым углом. |
Контроллер ионизационного датчика. |
Очень высокая скорость откачки. |
Система контроля подачи газов. |
Опция насоса для откачки паров воды. |
Ловушка с молекулярным ситом. |
Ловушка холодного типа, LN2. |
Контроль уровня LN2. |